化合物半导体抛光液

化合物半导体抛光液

主要用于磷化铟和砷化镓芯片的背部抛光。

常见规格的参数

氧化铝

测试方法

粒度（nm）

200-500

激光粒度仪

颗粒形貌

类球状

SEM

pH值

9-13

pH计

粘度（cst）

＜20

粘度计

浓度（%）

10-30%

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磷化铟砷化镓抛光工艺参考：

LJTK设备：

第一道：减薄15-30min：3-10um的氧化铝微粉配合石英盘；

第二道：背抛：30-40min：

磷化铟：化合物半导体抛光液；

砷化镓：化合物半导体抛光液或CMP抛光液配合黑色阻尼布抛光垫。

我公司针对化合物半导体有对应的抛光工艺及耗材，包含碳化硅、氮化铝、氮化 、砷化镓、磷化铟等，同时还承接各类代加工业务。

使用：使用人员应带好防护工具，避免与液体直接接触；

保存：保存温度应在5℃-50℃；

运输：运输温度应在5℃-50℃，并确保桶口向上。