JEM-2100F 透射电子显微镜
JEM-2100F是一款 的透射电子显微镜,主要特点是可以快速地获得 分辨率图像。JEM 2100F是新一代透射电子显微镜,使原子尺度的结构分析 简便,在生物学、医学和材料学的研究,以及半导体和制药工业中很有用。
JEM-2100F的束斑尺寸在0.5nm以下,在同类200kV透射电子显微镜中,它的分析功能 、获得的图像质量 。 型的侧插式测角样品台,便于样品的倾斜、旋转、加热、冷却和多点程序设定,且机械飘移极小。JEM-2100F可以连接STEM,MDS,EDS,EELS,和 CCD相机等许多附件。
规格型号及技术参数:
UHR
( 分辨型)
HR
(高分辨型)
HT
(高倾斜型)
分辨率
点分辨率
0.19nm
0.23nm
0.25nm
线分辨率
0.1nm
0.1nm
0.1nm
加速电压
(80,100,120)*160,200kV
加速电压 步长
50V
电子
电子 发射体
ZrO/W(100)Schottky
亮度
≥4×108A/(cm2.sr)
真空度
10-8Pa 数量级
束流
≤0.5nA(束斑尺寸为1nm时)
稳定度
加速电压稳定度
≤2×10-6/min
物镜电流稳定度
≤1×10-6/min
物镜
物镜焦距
1.9mm
2.3mm
2.7mm
球差系数
0.5mm
1.0mm
1.4mm
色差系数
1.1mm
1.4mm
1.8mm
聚焦步长
1.0nm
1.4nm
1.8nm
束斑尺寸(直径)
TEM 模式
2~5nm
EDS/NBD/CBD 模式
0.5~2.4nm
0.5~2.4nm
1.0~2.4nm
会聚束电子衍射(CBED)
会聚角(2a)
1.5~20 mrad
接受角
±10°
放大倍数
LOW MAG 模式
×50~6,000
×50~6,000
×50~6,000
MAG 模式
×2,000~1,500,000
×2,000~1,500,000
×1,500~1,500,000
SA MAG 模式
×8,000~800,000
×8,000~800,000
×6,000~800,000
相机长度
SA DIFF模式
80~2,000mm
80~2,000mm
100~2,500mm
HD衍射模式
4~80m
HR衍射模式
333m
样品室
X、Y方向样品平移
2mm
Z方向样品平移
±0.1mm
±0.2mm
±0.2mm
样品倾斜角度
X;±25°
Y;±25°
X;±35°
Y:±30°
X;±42°
Y;±30°
扫描透射装置(STEM)
明场像分辨率
0.2nm
X射线能谱分析
固体角(30/50mm2)
0.13sr/0.24sr
0.13sr/0.28sr
0.13sr/0.28sr
取出角(30/50mm2)
25°/22.3°
25°/24.1°
25°/25°