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真空平台指标行程25-250mm,每步的分辨率可以达到1u，零间隙，高刚性结构，负载可以达到50kg。可以直接搭载XYZ运动平台。真空度范围是：10^10mbar以内。使用交叉滚珠导轨运动，使运动精度 。云熙机电科技廊坊有限公司，是一家与高校合作的科技研发企业，主营业务包含：直流无框力矩电机、音圈电机、步进电机、伺服电机以及丝杠位移台；特种产品：真空高低温步进电机，真空核辐射步进电机，真空高低温丝杠平台，真空辐射丝杠平台，真空电极，离子规，可根据客户特殊要求进行开发设计定制。联系方式：郭工Tel,18101383264QQ，1024540961Email,18101383264@163.com
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