仪器规格及参数
X射线管 |
油冷式超微细对焦点X射线管 靶材:钨(W),铝(AL),钼(MO) 管电压:0~50kv 管电流:0.1mA |
照射方式 |
由上往下垂直照射方式 |
检测器 |
正比例计数管(PC) |
仪器校正 |
密度校正,标准样品校正 |
检测滤片 |
Co片,Ni片可选 |
准直器 |
固定型或自动型 |
固定型:可选0.1,0.2,0.3,0.4,0.1x0.4mm |
自动型:0.1,0.2,0.3,0.4,0.05x0.4mm |
输入电压 |
AC220V |
温度控制 |
前置放大及主机温度控制 |
工作温度 |
室温(22~25℃) |
真空样品室 排气所需时间 |
没有 |
可测量元素范围 |
钛(Ti)- (U) |
可测量厚度范围 |
原子序:22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um |
测量时间 |
10~30s |
操作接口 |
Windows XP |
标准曲线 |
.自动做标准曲线功能 |
.多点标准曲线 |
.标准曲线的曲线表示 |
测量功能 |
.常规测量(自动测量功能) |
.设定输出方式功能 |
.确认测量位置功能 |
.自动测量条件设定(管电流,1次及2次滤波器,ROI,NF滤波器设定) |
.薄膜FP法软件 |
自动测量功能 |
.测量位置的 (X,Y,Z) |
.用鼠标在画面上输入 |
.同一式样的重复测量功能 |
.确认测量位置功能(图示) |
.原点的设定功能(可记忆每个档案的原点) |
.保存原点的影像功能 |
.原点的补正功能(位置滑动角度补正功能) |
补正功能 |
.底材补正 |
.已知样品补正 |
.自已输入补正(密度补正) |
定性分析功能 |
.KLM标示 |
.ROI设定数:50 |
.能谱表示功能 |
.能谱比较标示功能(2段标示.重叠对照标示.扣除标示) |
.坐标尺寸设定功能(强度,能量) |
.能谱,样品画面的保存功能 |
数据处理系统 |
.统计数值的表示:平均值,标准偏差,Cp,Cpk,最大值,最小值,数值范围 |
.数据的群组分类功能 |
.特有数据的抽出功能 |
.X管理图 |
.X-R管理图 |
.直方柱状图 |
.等高线,俯视图表示 |
其它功能 |
.画面拷贝功能 |
.样品台坐标标示功能 |
.仪器维修调整功能 |
.检测报告的自动做成 |
功能 |
.X射线电源的钥匙开关 |
.测量中样品台门扇锁闭功能 |
产品应用
产业 |
产品 |
应用例 |
IC封装 |
导线架,BGA,BCC,Flip-Chip,散热片 |
Sn-Pb/xx,Ag/xx,Au/Ni/xx,Au/Ni-P/xx,Ni-P/xx,Cr/xx,Sn/xx, Au/Pd/Ni/Cu.Solder Bump… |
导线架 |
导线架 |
Ag/xx |
PCB FPC |
BGA,TBGA,TAB |
Sn-Pb/xx,Au/Ni/xx,Au/Ni-P/xx,Sn/xx… 含 的双层PCB |
端子工业 |
连接器 |
Sn-Pb/xx, Au/Ni/Cu, Ni-P/xx ﹡), Ag/xx, Ni/Cu… |
被动组件 |
芯片电阻,电容,电感,热敏电阻 |
Sn-Pb/Ni/xx,Sn/Ni/xx,Au/Ni/xx… |
螺丝工业 |
螺丝 |
Zn/xx, Ni/xx, Cu/xx… |
电镀线 |
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其它工业 |
探针,马达,石英振动器,电线电缆,装饰品 |
Au/Ni/xx, Rh/xx, Cr/xx, Sn-Pb/xx |
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