东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200基本介绍KOSAKALABET200微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本 家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体 部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。设备特点：KOSAKAET200基于Windows操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200能 可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。ET200配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态， 方便准确的定位测试区域。ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ规格一、测定工件：1.工件尺寸：φ160mm2.工件厚?0?3：50mm3.工件重量：2kg二、检出器（pickup）：1.Z方向测定范围：Max.600μm2.Z方向分解能：0.1nm3.测定?0?7：10uN~500uN4.触针半径：2μm60°5.驱动方式：直动式6.再现性：1σ=1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下三、X轴(基准轴)：1.移动量(测长)：100mm2.移动的真直?0?3：0.2μm/100mm3.移动,测定速?0?3：0.005~20mm/s4.线性尺(linarscale)：分解能0.1μm四、Z轴：1.移动量：50mm2.移动速度：max.2mm/S3.检出器自动停止机能4.位置决定分解能：0.1μm五、工件台：1.工件台尺寸：φ160mm2.机械手动倾斜:±2°(±1mm/150mm)?0?7、工件观察：max.135倍(可选购其它高倍?0?7CCD)七、床台：材质为花岗岩石八、防振台(选购)：?0?5地型或桌上型九、电源：AC220V±10%,50/60HZ,300VA十、本体外观尺寸及重量：W500×D440×H610mm,120kg(?0?3含防震台东莞深圳 坂/KOSAKA台阶仪ET200性能特点KOSAKALABET200微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本 家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体 部门。其中测定部门为 代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。设备特点：KOSAKAET200基于Windows操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200能 可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。ET200配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态， 方便准确的定位测试区域。ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ规格一、测定工件：1.工件尺寸：φ160mm2.工件厚?0?3：50mm3.工件重量：2kg二、检出器（pickup）：1.Z方向测定范围：Max.600μm2.Z方向分解能：0.1nm3.测定?0?7：10uN~500uN4.触针半径：2μm60°5.驱动方式：直动式6.再现性：1σ=1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下三、X轴(基准轴)：1.移动量(测长)：100mm2.移动的真直?0?3：0.2μm/100mm3.移动,测定速?0?3：0.005~20mm/s4.线性尺(linarscale)：分解能0.1μm四、Z轴：1.移动量：50mm2.移动速度：max.2mm/S3.检出器自动停止机能4.位置决定分解能：0.1μm五、工件台：1.工件台尺寸：&