SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频交流磁控溅射电源具备 的电弧抑制功能，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用电源功率范围30-120KW输入电源AC380V三相四线制AC50-60HZ±10％输出方式准正弦波输出频率40KHZ输出电压空载1100V[有效值]输出特性恒流恒压恒功率灭弧时间≤3uS输出电流稳定率0.25％负载持续率 冷却方式水冷使用环境环境温度0-40℃环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好冷却水清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温20-30℃压力0.15±0.05Mpa通讯方式模拟/RS485/RS232说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整