SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。 电源功率范围 10-120KW 输入电源 AC380V三相四线制50-60HZ±10％ 输出方式 交流正弦波 输出频率 40KHz 输出电压 空载1000V[有效值] 输出特性 恒流/恒功率 灭弧时间 ≤3uS 输出稳定率 1％ 冷却方式 2-10KW风冷 10-120KW水冷 使用环境 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa 通讯方式 模拟/RS485/RS232 说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整