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| SIC-II系列阳极层型离子源电源技术规格 |
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| SIC-II系列离子源电源用于阳极层型离子源的工作电源，电源提供了不同工作时段所需的阳极电压。SIC-II系列离子源电源采用高频开关方式，具有良好的稳定性及较高的工作效率 |
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| 电源功率 |
15KW |
| 输入电源 |
三相四线制380V±10％50-60Hz |
| 阳极电源电压 |
DC0-1000V,DC0-3000V |
| 阳极电源电流 |
DC0-15A,0-5A |
| 输出特性 |
恒流/恒压 |
| 输出电流精度 |
1％ |
| 冷却方式 |
风冷 |
| 使用环境 |
环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
| 通讯方式 |
模拟/RS485/RS232 |
| 说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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苏公网安备 32011202000136号 
电子营业执照 