芯片测试平台采用双导轨结构，X、Y、Z、R轴向可调；具有电子目镜监视装置；测试距离短、测试状态能监视、 度高、结构简单、方便操作,12寸晶圆测试机，手动，用于12英寸及以下晶圆测试，使用探针卡，重150KG，
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