珠海市锐特斯科技有限公司

真空镀膜机磁控溅射电源

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产品详情

  珠海市锐特斯科技有限公司,是设计生产特种高压电源的专业厂家,自公司创建以来,我们始终致力于各类工业用特种高压电源的科研、生产及推广。
  锐特斯电源以自主设计和制造为客户提供高压电源的解决方案为主业。
  现在,锐特斯电源以 、 的产品、良好的服务,我们的信誉就是为客户提供 有价值的高压直流电源。
  锐特斯电源已经成熟的应用在真空溅射技术中,具有控制 、灭弧能力强,可并联得到大功率输出等 的优点。配备的过程控制器可以有效地控制弧的发生。
  
  用途:
  可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。
  特点:
  1.采用 的逆变技术和IGBT功率开关器件设计
  2.采用PWM控制技术、恒流特性好、电源控制
  3.自动恒流输出,不随气压变化,提高沉积速率,工艺重复性好
  4.抑制靶材弧光放电及抗短路功能,内置电子电抗,具有 的负载匹配能力
  5.LED数码电流、电压显示、清晰直观
  6.轻巧、 、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上
  7.模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好,可N+1备份、保障安全生产
  8.可根据用户量身定做设计制造特种电源系统。

型号Type
项目Item
RTS-DC10kw RTS-DC20kw RTS-DC30kw RTS-DC40kw
输入电源电压频率(V,Hz)三相四线 AC380+N
+15%,50/60
AC380+N
+15%,50/60
AC380+N
+15%,50/60
AC380+N
+15%,50/60
输出电流调节范围(A) 0~15 0~30 0~45 0 ~60
稳流精度 ≤1% ≤1% ≤1% ≤ 1%
额定输出电压(DCV) 200~1000 200~1000 200~1000 200 ~1000
负载持续率(%) 85 85 85 85
重量(KG) 25 35 40 70
外形尺寸(mm) 650(D)*480(W)*250(H) 860(D) *600(W)*600(H)
绝缘等级 B B B B
效率(%) 90 90 90 90
功率因数COSΦ 0.93 0.93 0.93 0.93
外壳防护等级 Ip21 Ip21 Ip21 Ip21
工作模式 恒压,恒流,恒功率可任意选择,常规恒流输出
外部接口 本系列产品,均可设微机式PLC控制

珠海市锐特斯科技有限公司

所在地区: 广东省 珠海市
经营模式: 生产制造
会员等级: 身份认证
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