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TA0 99.9%高纯钛靶真空镀膜

订货量（公斤）	>=1
价格（元/公斤）	面议

供货总量：	1000公斤
产地：	陕西省/宝鸡市
发货期：	自买家付款之日起10天内发货

产品参数

是否有现货	否	形态	钛靶
型号	TA0 TA1	规格	10040 10516
商标	锐钛宏业	包装	木箱包装
纯度	99.6%-99.9%	尺寸	100*40
产量	1000公斤

产品详情

纯度纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺由 6 ”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。