坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备,用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂(SiN粉末)涂层喷涂。该装置是铸锭炉 附机,采用 的温控匀热技术及美国产高精密防飞雾喷枪,能帮助用户完成高质量的坩埚喷涂,并减少原料的消耗!根据用户需求,坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂(SiN)泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件组成。该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪,搅拌器采用非金属材料制成,在喷涂过程中 没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中,有效保证了氮化硅涂层的纯净。喷涂台的技术规格:a、SiN搅拌器驱动方式:气动;搅拌速度:0~30rpm无级可调;b、蠕动泵驱动方式:气动;泵送方式:压送;c、溢流阀:溢流压力可调;d、喷枪雾化锥度:可调;出口压力:15~40psie、 :出口压力:80~10psi;f、气源供气压力:6~8kg/cm2,符合DINISO8573-13标准,干燥、洁净、去油的压缩空气;g、脱模剂SiN粉末,粒度≤0.26mm;h、纯水(用户自备)工业一级,符合GB/TII446.1-1997EW-I要求;