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半导体工厂洁净空间行车无尘室专用起重机千级洁净行车基本介绍
在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工 基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内。因此洁净室系统的运行状态对硅芯片品质和良率的影响举足轻重。
半导体工厂洁净空间行车无尘室专用起重机千级洁净行车性能特点
由于起重机运行中摩擦产生的粉尘颗粒在所难免,为了满足无尘室的环境要求,专门设计了防尘盖,防尘槽以及防尘套.这些装置会对粉尘颗粒起到收集作用,可防止其向周围环境扩散。同时,采用双变频控制系统,不仅保证了起重机的灵活操控和安全性,还起到了节能的作用.